| D-Tec 3D檢測 | |
| X/Y/Z重復定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±15um@4sigma(CPK＞1.33) |
| 運動驅動方式 Motion-Driven Mode | Servo+Motor 伺服電機+絲桿 |
| 掃碼速度 | 最高可達10KHz |
| 測量范圍 | Z軸 25mm? X軸寬度：近端 25mm? X軸寬度：參考距離 27.5mm? X軸寬度 ：遠端 32.5mm |
| 產品尺寸 | 50*50~510*686mm |
| 機器外形尺寸 Machine Dimensions | 1020(L)*1500(W)*1500mm(H) |