| D-semi | |
| X/Y/Z重復定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±5um@3sigma(CPK≥1.33) |
| 運動驅動方式 Motion-Driven Mode | 直線電機Linear Motor(XY)+伺服電機Servo Motor（Z） |
| XY 最大速度 XY Maximum Speed | 1200mm/s |
| 點膠范圍 PCB Max/Min Size | 300*200mm |
| 最小點徑 | 100±20um |
| 機器外形尺寸 Machine Dimensions | 1710*1400*1880mm |